このアプローチは静電容量を正確に測定し、間隔を推測しますか？
セットアップを始める前に、以下の静電容量測定方法に関するフィードバックや警告に興味があります。 実験では、2つのサンプル間の間隔を0.1 mm以上の解像度で測定および追跡する必要に出会いました。残りのセットアップの制約のため、少し調べた結果、静電容量測定法が間隔を推測するのに最も適しているように見えます。 次の簡略化を目標として考えます。 大きなコンデンサを形成する2つの銅板（各2cm X 2cm）間の距離を測定/追跡したいと思います。 注： 以下のAD7746は、2チャネル、24ビットシグマデルタ静電容量-デジタルコンバーターです。 アイデア：で始まるC=ε0εrあdC=ε0εrあdC=\varepsilon_0\varepsilon_r \frac{A}{d}、プレート面積と空気の誘電率が一定の場合、測定された静電容量が距離に反比例することは言うまでもありません。したがって、最初にいくつかの校正データを取得し、それを使用して、測定された静電容量値からの距離を推測するように調整します。 測定方法： 0.1 mm以上の解像度というかなり厳しい要件があるので、アナログデバイスの静電容量測定IC AD7746を使用して正確な測定を行う予定です。 できるだけきれいな測定を行うために注意すべきことは何ですか、またはどのような点を改善できますか？上記は私の希望する解決策を私に得ることができますか、それとも私が見ないエラーソースになりやすいですか？ 考えられる改善の1つは、AD7746に2つのチャネルがあるため、追加のチャネルを使用して、完全に固定された /基準プレートの個別のペアを同時に測定し、それを使用して温度またはEMIの影響を無効にすることもできると考えていました。うーん、これらの要素がどれほど重要かわかりません... 更新（詳細）：私のセットアップについて少し詳しく、存在する制約：実験には、真上にある大きなサンプルが含まれ、トッププレートにキスをします。サンプルは約75mm X 75mm（非金属）で、垂直方向の動きで上部プレートを押しつぶします。 その結果、Y軸の動きに垂直に平行にセンサーを配置する余地はありません。垂直方向の変位/ギャップの検出は、水平方向に行うか、部品を基板の底板の位置に取り付けて行う必要があります。 そうは言っても、天板は私の提案する測定方法のために追加されたものであり、厳密には必要ありません。私の主な目標は、前述の75mm X 75mmのサンプルが下から垂直にどれだけ離れているかを測定することです。 更新（測定結果）：静電容量測定で簡単なテストを実行したところ、変位の約0.2 mmステップで静電容量データをかなりはっきりと区別することができました。静電容量測定で発生するノイズは、現在のところ、大きすぎてそれ以上の解像度を得ることができません。静電容量測定でSNRを改善できるかどうかを確認するために、いくつかのことを変更しようとしています。