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リソグラフィで使用される異なるデバイス間の信号を変調するために、どのシステム電子部品または物理メカニズムが使用されますか？
TEMを使用してウェーハ表面の印刷に電子回折を使用するのに役立つモデル信号システムを生成するには、パターンジェネレーターデバイス（パターンジェネレーターソフトウェアなし）が必要であることを知っています。これらの信号はパターンと呼ばれるテンプレートであり、パターンジェネレーター内の電子的な未知のコンポーネントによって生成されます。 この異なるデバイス（TEM、パターンジェネレーター、コンピューターなど）間のこの「駆動」信号が、ウェーハ上の最終印刷用のテンプレートパターンを正しく生成できる変調システムがわかりません。 するには、印刷デザイン（ソフトウェア）からチッププロジェクトをあなたは、パターン発生器デバイスと通信するための変調を生成する必要があり、このパターン発生器デバイスは、TEMと通信する必要がありますが、まだする変調必要伝える TEMを印刷すべきかとどのように印刷するには どのようなタイプを変調の種類、またはこのデバイス間で異なる信号を変調するために使用されるシステム/コンポーネント 確かに私たちは前に干渉を生成する必要があります 光の粒子ビュー（幾何光学または光線光学）を使用して回折を説明することはできません。波の解釈（物理光学）が必要です。これによれば、画像は実際には、画像内の同じポイントに到達するために異なるパスをたどる光線によって形成された干渉パターンです。 ただし、この干渉を生成して、ウェハにパターンを印刷するために正しい回折電子を使用する前に（TEMシステムを使用）、正しい変調が必要です。 デバイスがお互いを理解していることを確認するために、この変調システムが正しいかどうか、信号生成はどのような方法でチェックしますか？ テクニックの1つは次のようなものを使用します Electron backscatter diffraction