バイエルフィルターはどのように製造されていますか？

バイエルフィルターについての以前の質問に続いて、私は不思議に思いました：

実際にどのように製造されていますか？このような少量の染料を各サブピクセルにどのように適用するのですか？

私の推測では、ある種の光学ベースの化学エッチングの後に染浴が続きます...（色ごと）

この記事の要約から365 nmリソグラフィー用に化学増幅された熱硬化した予備染色ポジトーンフォトレジストを使用したCCDおよびCMOSイメージセンサー用のカラーフィルターアレイ

ジアゾナフトキノンノボラックフォトレジストは、各色の層を連続して堆積およびパターン化することにより、これらのフィルターを製造するために使用されます。

この見積もりについての私の理解は、プロセスは次のとおりであることです

1. センサー表面上に色素（赤、緑、青）を追加したフォトレジスト（可視域では比較的透明であるが、450 nmからUVで強く吸収するポリマーと増感剤）を堆積させる
2. 金属パターンのマスクがフォトレジストの上に配置されます
3. フォトレジストのマスクされていない領域は、ジアゾナフトキノンが変換されるUV光源によって露光されます。
4. マスクが削除されます
5. 露光されたフォトレジストは水性溶媒で溶解され、未露光領域はすぐには溶解せず、したがって残ります
6. 1-5は異なる染料と異なるマスクを使用して繰り返されます

このフォトレジストがどのように機能するかについては、en.wikipedia.org / wiki / Diazonaphthoquinoneを参照してください。